主要区别就在于其工程控制对象的不同。硅片边缘曝光设备被动式空气弹簧的工作原理是控制振动源,使得振动源无法将振动传导到其他工业设备中,起到减震隔振的作用。而主动空气弹簧的工作原理是保护受振动部件,使得受保护部件不会受到外来的振动源的影响。但是,主动空气弹簧不会像被动式空气弹簧那样控制振动源的影响。因此,如果振动源能够影响多个部件,则被动式空气弹簧更加适合该工业生产过程。
有哪些特性
两个重要特性就是其设计方案的精密性和组装步骤的便捷性。通常能够被广泛运用在不同的设备中,具备良好的适应性。一些使用了高纯度石墨复合型橡胶的密封件的被动式空气弹簧,可以在出现气体泄漏之后持续工作一段时间,该特性提高了在检修方面的开放性。
综上,被动式空气弹簧在工业设备中具有广泛的应用性,根据隔振对象、弹簧材料和工艺的不同,其性价比也就不同,需要在市场上与同类产品进行充分比较,才能选出能满足需求的产品。