晶圆对准设备气动隔振器是一种减震设备,能够根据冲进气体使其自身的软性体膨胀波动,从而支撑机器的支撑点。这种设备采用耐老化塑胶制成,内部减振方案设计科学合理,可以有效地防止共振现象。气动隔振器是一种标准气压式设备,自振频率较低,能够实现良好的减震效果。在出厂之前,气动隔振器的内部已经充入了相对充足的气体。如果发现实际应用需要更多的气体,可以再次进行充气。
晶圆对准设备气动隔振器充气的方法很简单:在气动隔振器的侧面上,有一个突出部分,类似于单气门嘴。只需要将气筒的嘴巴与该部位连接,在此之前应先确定标准气压,以避免气囊充爆而导致空气减振器毁坏。使用气动隔振器能够有效地提高机器设备的效率和稳定性,延长设备使用寿命。与汽压减振筒设计方案相结合,该系统特别适合防护低频振动,适用于震动敏感的环境和高精度设备。废话不多说,它是对系统和设备本身起到至关重要的促进作用。