SSA600/20步进扫描投影光刻机被动式空气弹簧实际上大致都能够归结为一个比较密封性空间,但在在其中充进缩小空气,而目含有一定的弹力,这样就能具有很明显的推动作用,与此同时还要含有调整设备,例如可以调节相对高度
气体压力,还可以在整个被震动情况下,具有缓存的功效,技术专 业避震企业提供的被动式空气弹簧的气膜一般都是应用高 强度塑料薄膜，气膜承担气压为10bar，高质量的扫描投影光刻机被动式空气弹簧，全是含有气压阀门的，当气压不稳定，或气压过大时，气压阀门便会根据放空气来维护气膜，也正因为这一原理和优势,因此被动式空气弹簧组织是比较稳定的。
那扫描投影光刻机被动式空气弹簧安装的时候要留意那些问题呢？

构造是不是平稳,除开跟所选用的产品质量紧密相关之外,实际上还和安装是否标准有关,安装时一定要留意一些事宜,例如，安装地面坡度，安装人员的技术实力，安装的规划部位，安装自然环境等多种因素,由于商品归属于髙压装置,所以才能够使其损坏或是触碰明火及其用硬块撞击等,在安装位置的相接处,需要确保能够灵活多变的旋转等。唯有通过正规技术性严苛来完成安装,而且上下之后按时检验,才能保障所使用的非常长长期。