不论是工业化生产亦或是人们的生活，全部活动机器都是会因遭受驱动力而震动。震动会传送到机器的支撑架并且通过支撑架传送到机器自身及其机器的配件上。震动会导致全部受此影响一个物体疲惫。与此同时，震动也使得噪声大大的提升，特别是在是是非非路面安装震动机器设备,如装到楼房里的机器。而SSB260/20T型投影光刻机被动式空气弹簧超过大多数别的方式的减震器，能降低99百分比的震动疲惫。
被动式空气弹簧一般由制动气室、橡胶弹性隔膜和承重板组成。它是一个具有内部结构的密封容器。使用空气可以改变抗震目的。被动式空气弹簧的固有频率相对较低(2).6~5.3Hz)，阻尼系数(0)相对较高.06~0.08)可以获得较高的抗震效率。投影光刻机被动式空气弹簧具有刚度变化的特点，因此在地震设备设计中不需要考虑机械设备的重点。承载力大，本身总重比较轻。与其它减震器对比，投影光刻机被动式空气弹簧具备品质小、舒适度好、耐疲惫、坚固耐用等特点，它并且具有避震和消声功效。这使得其可广泛运用与许多环境里并充分发挥关键作用。